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    硅胶固定MEMS器件

    2021/10/28 13:25:10        2674

    微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。MEMS器件体积小，重量轻，耗能低，惯性小，谐振频率高，响应时间短。

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